金屬閘極在HfSiON絕緣層互補式金氧半場效應電晶體之可靠度研究
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A11013310
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳啟文(Chen， Chii-wen) 顏良承(Yan， Liang-cheng) 葉郁龍(Yeh， Yu-long) 葉文冠(Yeh， Wen-kuan) 陳育廷(Chen， Yu-ting)
- 主題與關鍵字：
- 金屬閘極 熱載子不穩定性 負偏壓溫度不穩定性 閘極漏電流 低頻雜訊 Metal gate Hot-carrier instability Negative-bias-temperature instability Gate leakage current Low frequency noise
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:37:1 2011.02[民100.02]
- 頁次:頁85-93
- 日期：
- 20110200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
