退火溫度對氧化銦鎵鋅薄膜之特性研究
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- 資料識別：
- A11013308
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳炳茂(Chen， Bing-mau) 黃安笛(Huang， An-di) 李宗澤(Li， Zong-ze) 吳明瑞(Wu， Ming-ruei) 鄒一德(Chou， Yi-teh) 鄧立峯(Teng， Li-feng) 劉柏村(Liu， Po-tsun)
- 主題與關鍵字：
- 氧化銦鎵鋅薄膜 直流濺鍍系統 退火溫度效應 X光薄膜繞射儀 原子力顯微鏡 IZGO DC sputtering system Annealing temperature effect X-ray diffraction Atomic force microcopy
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:37:1 2011.02[民100.02]
- 頁次:頁67-76
- 日期：
- 20110200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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