12吋半導體晶圓廠房之能耗與能源消耗指標研究
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- 資料識別：
- A11013207
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 駱文傑(Luo， Win-jet) 林照閔(Lin， Chao-min) 黃雍舜(Huang， Yung-shuen) 陳兆雄(Chen， Jauh-shyong)
- 主題與關鍵字：
- 高科技 廠務系統 潔淨室 能源消耗
- 描述：
- 來源期刊:冷凍空調&能源科技
- 卷期:67 2011.02[民100.02]
- 頁次:頁31-39
- 日期：
- 20110200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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