應用虛擬量測技術於半導體製程簡介--以CVD/ALD為例
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A11012548
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 周子勤 蕭鉢
- 主題與關鍵字：
- 網路式診斷 網路式預防保養 虛擬量測 E-diagnostic E-maintenance Virtual metrology
- 描述：
- 來源期刊:機械工程
- 卷期:266 2008.09[民97.09]
- 頁次:頁60-68
- 日期：
- 20080900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
