銅在Cu/TaN戓/Si薄膜系統中之擴散及反應的研究

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資料識別：: C02022768
資料類型：: 期刊論文
著作者：: 李嘉平
描述：: 來源期刊:工程科技通訊; 卷期:62 民91.06; 頁次:頁67-70
來源：: 臺灣期刊論文索引系統
管理權：: 國家圖書館

授權聯絡窗口

: 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305

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