精密薄膜光學檢測系統之檢測光源特性研究與分析
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- 資料識別：
- A10007821
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全(Kuo， Chil-chyuan) 趙金聖(Chao， Chin-sheng)
- 主題與關鍵字：
- 檢測光源 薄膜光學檢測系統 穩定度 精確度 Probe lasers Thin-film optical inspection system Stability Precision
- 描述：
- 來源期刊:建國科大學報
- 卷期:29:2 2010.01[民99.01]
- 頁次:頁1-22
- 日期：
- 20100100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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