薄膜量測標準
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- 資料識別：
- A10006478
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 傅尉恩
- 主題與關鍵字：
- 奈米計量 薄膜厚度校正 不確定度 系統評估 Nanometrology Thin film thickness calibration Uncertainty System evaluation
- 描述：
- 來源期刊:化工資訊與商情
- 卷期:79 2010.01[民99.01]
- 頁次:頁60-67
- 日期：
- 20100100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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