多孔矽薄膜之深淺材料分析

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資料識別:
A10005860
資料類型:
期刊論文
著作者:
林嘉洤(Lin, J. C.) 蔡文禎(Tsay, W. J.)
主題與關鍵字:
陽極電化學蝕刻 多孔矽 掃描式光激發光光譜儀 3D表面輪廓儀 Anodization electrochemistry etching Porous silicon Maple PL Micro-figure measuring instrument
描述:
來源期刊:華岡工程學報
卷期:25 2010.01[民99.01]
頁次:頁123-127
日期:
20100100
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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