Identification， Control and Hysteresis Compensation of a 3 DOF Metrological AFM
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- 資料識別：
- A10005013
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Merry， Roel Uyanik， Mustafa van de Molengraft， Ren�#12288;Koops， Richard van Veghel， Marijn Steinbuch， Maarten
- 主題與關鍵字：
- Scanning microscopes Motion control Asymmetric hysteresis Piezo actuators MIMO identification
- 描述：
- 來源期刊:Asian Journal of Control
- 卷期:11:2 2009.03[民98.03]
- 頁次:頁130-143
- 日期：
- 20090300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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