氧化鈰薄膜在奈米級金氧半電容器之研究
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- 資料識別：
- A10045185
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 邱福千(Chiu， Fu-chien) 李俊諺(Lee， Chun-yen) 陳柏翰(Chen， Po-han) 陳奕愷(Chen， Yi-kai) 陳俊維(Chen， Chun-wei) 王致皓(Wang， Zhi-hao) 李榮原(Lee， Rung-yuan) 李博揚(Lee， Po-yang)
- 主題與關鍵字：
- 高介電閘極介電質 氧化鈰 傳導機制 High-k gate dielectric Cerium oxide Conduction mechanism CeO₂
- 描述：
- 來源期刊:資訊電子學刊
- 卷期:4:1 2009.10[民98.10]
- 頁次:頁1-5
- 日期：
- 20091000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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