Tip Profile Estimation of Scanned Probe Microscopy for Micro and Nano Surface Roughness Measurement
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- 資料識別：
- A10044457
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Chen， Jr-rung Chen， A. Chao-chang Liou， Huay-chung
- 主題與關鍵字：
- Stylus tip reconstruction Surface roughness Atomic force microscopy
- 描述：
- 來源期刊:中國工程學刊
- 卷期:33:1 2010.01[民99.01]
- 頁次:頁63-70
- 日期：
- 20100100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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