Development of a Closed-Loop Micro-/NANO-Positioning Stage with Small Tilting Angles
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- 資料識別：
- A10044331
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Shiou， Fang-jung Chang， Po-huai
- 主題與關鍵字：
- Piezoelectric actuator Micro-/nano-positioning stage Four folded leaf springs Fiber optic interferometer system ANSYS software
- 描述：
- 來源期刊:中國工程學刊
- 卷期:32:6 2009.09[民98.09]
- 頁次:頁755-763
- 日期：
- 20090900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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