摻雜物植入金屬矽化物與摻雜物隔離超淺接面製作技術
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- 資料識別：
- A10042852
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李振銘
- 主題與關鍵字：
- 超淺接面 摻雜物植入金屬矽化物 摻雜物隔離 Ultra shallow junction USJ Implant to silicide ITS Dopant segregation DS
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:16:9=182 2010.09[民99.09]
- 頁次:頁121-129
- 日期：
- 20100900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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