超淺接面製程的低能量高束流離子佈植機技術
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- 資料識別：
- A10042850
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 任克川 陳恆綱
- 主題與關鍵字：
- 高束流離子佈植機 超淺接面 短通道效應 能量污染 末端缺陷 High current ion implanter Ultra shallow junctions Short channel effects SCE Energy contamination End of range defects
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:16:9=182 2010.09[民99.09]
- 頁次:頁100-111
- 日期：
- 20100900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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