以新式實驗方法探討應用於微機電元件之微奈米薄膜材料的新穎機械行為
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- 資料識別：
- A10041478
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 童麒嘉 鄭雅琪 林明澤 遲雅各 吳忠霖
- 主題與關鍵字：
- 微機電元件 微奈米薄膜材料 機械行為
- 描述：
- 來源期刊:微系統暨奈米科技協會會刊
- 卷期:22 2009.12[民98.12]
- 頁次:頁52-64
- 日期：
- 20091200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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