磁控濺渡氮氧化矽薄膜材料之機械性質檢測與分析
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- 資料識別：
- A10041475
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳秉欣 陳國聲
- 主題與關鍵字：
- 氮氧化矽薄膜 破壞韌性 殘留應力 材料機械性質檢測
- 描述：
- 來源期刊:微系統暨奈米科技協會會刊
- 卷期:22 2009.12[民98.12]
- 頁次:頁27-43
- 日期：
- 20091200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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