氧化鋅薄膜原子層沉積之研究
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- 資料識別：
- A10041044
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉光璧(Liu， Kuang-pi) 嚴國藝(Yen， Kuo-yi) 龔志榮(Gong， Jyh-rong) 蕭琦穎(Hsiao， Chi-ying) 楊竣雄(Yang， Jing-hsung) 紀威旭(Chi， Wei-hsu) 呂東原(Lyu， Dong-yuan) 林泰源(Lin， Yai-yuan) 王慶鈞(Wang， Ching-chiun) 李侃峰(Lee， Kang-feng) 黃振榮(Huang， Jen-rong) 梁沐旺(Liang， Muh-wang) 吳慶輝(Wu， Ching-huei) 羅展興(Lo， Alfred)
- 主題與關鍵字：
- 原子層沉積 氧化鋅 Atomic layer deposition Zinc oxide
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:23:2 2010.06[民99.06]
- 頁次:頁56-61
- 日期：
- 20100600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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