以原子層沈積法製作高品質氧化鋅薄膜及其元件之應用
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- 資料識別：
- A10041043
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳冠宇(Chen， Kuan-yu) 李欣縈(Lee， Hsin-ying) 李清庭(Lee， Ching-ting)
- 主題與關鍵字：
- 原子層沈積法 透明薄膜電晶體 氧化鋅 Atomic layer deposition Transparence thin film transistors ZnO
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:23:2 2010.06[民99.06]
- 頁次:頁50-55
- 日期：
- 20100600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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