真空電漿表面預先改質觸發超微密晶種及超薄無電鍍銅金屬化導線
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- 資料識別：
- A10041041
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃朝鴻(Huang， C. H.) 呂育霖(Lu， Y. L.) 陳松德(Chen， S. T.) 陳錦山(Chen， G. S.)
- 主題與關鍵字：
- 電漿表面改質 晶種 無電鍍 阻障層 Plasma surface pretreatment Seeds Electroless plating Barrier layers
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:23:2 2010.06[民99.06]
- 頁次:頁38-43
- 日期：
- 20100600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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