真空電漿表面預先改質觸發超微密晶種及超薄無電鍍銅金屬化導線

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資料識別:
A10041041
資料類型:
期刊論文
著作者:
黃朝鴻(Huang, C. H.) 呂育霖(Lu, Y. L.) 陳松德(Chen, S. T.) 陳錦山(Chen, G. S.)
主題與關鍵字:
電漿表面改質 晶種 無電鍍 阻障層 Plasma surface pretreatment Seeds Electroless plating Barrier layers
描述:
來源期刊:真空科技
卷期:23:2 2010.06[民99.06]
頁次:頁38-43
日期:
20100600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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