高介電絕緣層對先進金氧半場效應電晶體元件影響之研究
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- 資料識別：
- A10039345
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李薰(Li， Hsun) 江孟學(Chiang， Meng-hsueh)
- 主題與關鍵字：
- 短通道效應 高介電絕緣層 閘極漏電流 Short-channel effects High-k gate dielectric Gate leakage current
- 描述：
- 來源期刊:宜蘭大學工程學刊
- 卷期:6 2010.03[民99.03]
- 頁次:頁65-73
- 日期：
- 20100300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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