The Effects of Shower Head Orientation and Substrate Position on the Uniformity of GaN Growth in a HVPE Reactor
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- 資料識別：
- A10038642
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Lan， W. C. Tsai， C. D. Lan， C. W.
- 主題與關鍵字：
- GaN HVPE Reactor design Computer simulation
- 描述：
- 來源期刊:Journal of the Taiwan Institute of Chemical Engineers
- 卷期:40:4 2009.07[民98.07]
- 頁次:頁475-478
- 日期：
- 20090700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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