Consumption Optimization by Run to Run Control with Zone Control
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- 資料識別：
- A10038280
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Pan， Tian-hong Sheng， Bi-qi Wong， David Shan-hill Jang， Shi-shang
- 主題與關鍵字：
- Semiconductor manufacturing Run to Run control EWMA Zone control
- 描述：
- 來源期刊:Journal of the Taiwan Institute of Chemical Engineers
- 卷期:41:4 2010.07[民99.07]
- 頁次:頁500-505
- 日期：
- 20100700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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