LPCVD爐管中晶圓溫度分佈之模式建立
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- 資料識別：
- A10036136
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃毓珊(Huang， Y. S.) 王國彬(Wang， G. B.) 陳俊瑜(Chen， C. Y.) 王子奇(Wang， T. C.)
- 主題與關鍵字：
- 低壓化學氣相沈積 二維穩態溫度預測模式 形狀因子 LPCVD Two-dimensional steady-state temperature prediction model Configuration factor
- 描述：
- 來源期刊:華岡工程學報
- 卷期:26 2010.06[民99.06]
- 頁次:頁131-140
- 日期：
- 20100600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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