製作非揮發性記憶體之BiFeO₃薄膜表面粗糙度快速光學檢測系統研發
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- 資料識別：
- A10036077
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全(Kuo， C. C.) 趙金聖(Chao， C. S.)
- 主題與關鍵字：
- 光學檢測系統 鐵酸鉍薄膜 表面粗糙度 Optical inspection system BiFeO₃thin films BFO thin films Surface roughness
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:285 2010.09[民99.09]
- 頁次:頁169-178
- 日期：
- 20100900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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