玻璃基板主動式氣浮平臺設計與智慧型控制
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- 資料識別：
- A10035609
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 江茂雄 林浩庭 陳畊谷 黃峻緯
- 主題與關鍵字：
- 平面顯示器 玻璃基板 氣浮平臺系統 氣壓伺服系統 智慧型控制 TFT-LCD Glass substrate Air bearing table Servo pneumatic Intelligent control
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:328 2010.07[民99.07]
- 頁次:頁40-54
- 日期：
- 20100700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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