MOCVD反應器之氣流場模擬分析
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- 資料識別：
- A10035519
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃智勇 謝文宗 王慶鈞 陳建志
- 主題與關鍵字：
- 有機化學氣相沉積 擴散 層流 熱浮力 擴散熱效應 磊晶 Metal organic chemical vapor deposition Diffusion Laminar flow Thermal buoyancy effect Diffusion-thermal effect Epitaxy
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:326 2010.05[民99.05]
- 頁次:頁96-102
- 日期：
- 20100500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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