應用3D多體積方法模擬LPCVD之氣流場
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- 資料識別：
- A10035518
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃智勇 江銘通 張家豪 梁沐旺 張永光
- 主題與關鍵字：
- 低壓化學氣相沉積 多體積方法 氣體流場分佈 電腦模擬 非結構網路 Low pressure chemical vapor disposition 3D volumes method Air flow distribution Computer simulation Unstructured grid
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:326 2010.05[民99.05]
- 頁次:頁87-95
- 日期：
- 20100500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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