高密度電漿源的模擬與量測分析
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- 資料識別：
- A10035516
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 董福慶 吳佩珊 陳家銘 林重勳 魏大欽 趙修武 吳慶輝
- 主題與關鍵字：
- 微晶矽 矽薄膜生長 電漿輔助化學氣相沉積 數值模擬 Microcrystalline silicon Thin film deposition PECVD Numerical simulation
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:326 2010.05[民99.05]
- 頁次:頁76-86
- 日期：
- 20100500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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