太陽電池真空鍍膜製程設備之基版傳輸移載技術
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- 資料識別：
- A10035512
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳冠州
- 主題與關鍵字：
- 基版傳輸 物理氣相沉積 電漿輔助化學氣相沉積 Substrate transfer PVD PECVD
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:326 2010.05[民99.05]
- 頁次:頁55-69
- 日期：
- 20100500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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