淺談大面域濺鍍技術
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- 資料識別：
- A10035511
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李侃峰 黃智勇 林冠宇 吳興華 黃建福
- 主題與關鍵字：
- 磁控濺鍍 陰極磁座 大面域 Magmetron sputtering Magnet cathode Large area
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:326 2010.05[民99.05]
- 頁次:頁49-54
- 日期：
- 20100500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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