G3.5枚葉式矽薄膜太陽能電池鍍膜設備之電控系統簡介
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- 資料識別：
- A10035508
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林冠宇 葉羿辰 羅順遠 孫湘平 林振達
- 主題與關鍵字：
- 太陽電池 電漿 真空 物理氣相沉積 Solar cell Plasma Vacuuum PVD PECVD
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:326 2010.05[民99.05]
- 頁次:頁40-48
- 日期：
- 20100500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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