微機電創新設計--差動電容式雙軸加速度感測元件
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A10031764
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 詹竣凱 徐家保 吳名清 方維倫
- 主題與關鍵字：
- 微機電 加速度計 電容式 擺錘型質量塊 環形彈簧 Micro electro-mechanical systems Accelerometer Pendulum-proofmass Capacitive Gimbal-spring HARM High aspect ratio micromachined MOSBE platform Molded surface micromachining and bulk etching release
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:17:2 2010.06[民99.06]
- 頁次:頁30-35
- 日期：
- 20100600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
