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微機電創新設計--差動電容式雙軸加速度感測元件
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後設資料
資料識別:
A10031764
資料類型:
期刊論文
著作者:
詹竣凱 徐家保 吳名清 方維倫
主題與關鍵字:
微機電 加速度計 電容式 擺錘型質量塊 環形彈簧 Micro electro-mechanical systems Accelerometer Pendulum-proofmass Capacitive Gimbal-spring HARM High aspect ratio micromachined MOSBE platform Molded surface micromachining and bulk etching release
描述:
來源期刊:奈米通訊
卷期:17:2 2010.06[民99.06]
頁次:頁30-35
日期:
20100600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館
授權聯絡窗口
管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305
引用這筆典藏
引用資訊
詹竣凱 徐家保 吳名清 方維倫(20100600)。[微機電創新設計--差動電容式雙軸加速度感測元件]。《數位典藏與數位學習聯合目錄》。http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/55/e1/5a.html(2017/03/25瀏覽)。
直接連結
http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/55/e1/5a.html
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