非破壞性低溫多晶矽膜晶粒尺寸光學檢測技術研發
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- 資料識別：
- A10002062
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全 陳宏昱
- 主題與關鍵字：
- 低溫多晶矽膜 晶粒尺寸 光學檢測技術 準分子雷射退火 Low-temperature polycrystalline silicon thin films Grain size Optical inspection technique Excimer laser annealing
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:276 2009.12[民98.12]
- 頁次:頁164-173
- 日期：
- 20091200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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