CMP佈局平坦化的階層式密度分析方法
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- 資料識別：
- A10024318
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳冠中(Chen， Kuan-chung) 嚴文宏(Yan， Wen-hong) 林浩仁(Lin， How-rern)
- 主題與關鍵字：
- 晶片佈局密度分析 平坦化 CMP平坦化技術 Layout density analysis Planarization Chemical-mechanical polishing
- 描述：
- 來源期刊:科學與工程技術期刊
- 卷期:6:2 2010.06[民99.06]
- 頁次:頁1-8
- 日期：
- 20100600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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