次世代平面顯示器使用之低溫多晶矽晶粒尺寸檢測技術
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- 資料識別：
- A10023971
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全
- 主題與關鍵字：
- 次世代平面顯示器 線上光學檢測 晶粒尺寸 低溫多晶矽膜 光學檢測技術
- 描述：
- 來源期刊:機電整合
- 卷期:143 2010.07[民99.07]
- 頁次:頁131-136
- 日期：
- 20100700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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