Using Optical Level Technique to Measure Thin Film Stress

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資料識別:
A10021245
資料類型:
期刊論文
著作者:
劉文翔(Liu, Wen-shyrang)
主題與關鍵字:
薄膜應力 雷射光水平技術 化學氣相沉積 Film stress Optical level technique Chemical vapor deposition
描述:
來源期刊:修平學報
卷期:20 2010.03[民99.03]
頁次:頁137-145
日期:
20100300
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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