NH₃ Nitridation-Induced Phase Changes and Property Improvements of ZrO₂/Al₂O₃/ZrO₂ Dielectric: Application to Metal-Insulator-Metal Capacitor in DRAM
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- 資料識別：
- A10021090
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李名言(Li， Ming-yen) 蔡濱祥(Tsai， Bin-siang) 江佩錞(Jiang， Pei-chuen) 吳孝哲(Wu， Hsiao-che) 巫勇賢(Wu， Yung-hsien) 林裕荏(Lin， Yu-jen)
- 主題與關鍵字：
- NH₃氮化 介電質 相變化 電容器 ZrO₂/Al₂O₃/ZrO₂ NH₃ nitridation High-k dielectric Phase change Capacitor
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:23:1 2010.03[民99.03]
- 頁次:頁12-17
- 日期：
- 20100300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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