Investigation of Optical Mechanisms of Silicon Nanoclusters Embedded in Silicon Nitride

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資料識別:
A10021074
資料類型:
期刊論文
著作者:
李清庭(Lee, Ching-ting) 蔡泰成(Tsai, Tai-cheng)
主題與關鍵字:
Laser-assisted plasma enhanced chemical vapor deposition system Si nanoclusters Photoluminescence Quantum confinement effect Silicon nitride matrix
描述:
來源期刊:真空科技
卷期:19:4 2007.04[民96.04]
頁次:頁51-55
日期:
20070400
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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