Investigation of Optical Mechanisms of Silicon Nanoclusters Embedded in Silicon Nitride
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- 資料識別：
- A10021074
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李清庭(Lee， Ching-ting) 蔡泰成(Tsai， Tai-cheng)
- 主題與關鍵字：
- Laser-assisted plasma enhanced chemical vapor deposition system Si nanoclusters Photoluminescence Quantum confinement effect Silicon nitride matrix
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:4 2007.04[民96.04]
- 頁次:頁51-55
- 日期：
- 20070400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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