光釋放能譜臨場監控反應性濺鍍氧化鈦薄膜之特性分析
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- 資料識別：
- A10021071
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李健志 魏敏芝 牛寰 陳錦山
- 主題與關鍵字：
- 超高真空磁控濺鍍 二氧化鈦 一氧化鈦 光學釋放能譜分析儀 金紅石 銳鈦礦 X光超繞射 拉塞福背向散射能譜術
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:4 2007.04[民96.04]
- 頁次:頁35-39
- 日期：
- 20070400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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