氫氣在熱燈絲CVD沉積多晶矽薄膜成長機制之影響
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- 資料識別：
- A10021034
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 連水養 吳秉叡 毛信元 武東星
- 主題與關鍵字：
- 熱燈絲化學氣相沉積 多晶矽薄膜 太陽電池
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:3 民95.12
- 頁次:頁113-117
- 日期：
- 20061200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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