Smooth and Conformal Al₂O₃ Coating on Polystyrene Nanospheres by Using Atomic Layer Deposition
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- 資料識別：
- A10021015
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 柯志忠(Kei， C. C.) 鄭佩慈(Cheng， P. T.) 劉達人(Liu， D. R.) 李昭德(Lie， C. T.) 蘇健穎(Su， C. Y.) 蕭健男(Hsiao， C. N.) 彭宗平(Perng， T. P.)
- 主題與關鍵字：
- Atomic layer deposition Polystyrene nanosphere X-ray reflectivity
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:3 民95.12
- 頁次:頁48-51
- 日期：
- 20061200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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