聚焦離子束輔助沉積三維奈米懸浮結構技術之探討與應用
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- 資料識別：
- A10021009
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鄭紹章 胡一君 周曉宇 陳至信
- 主題與關鍵字：
- 聚焦離子束系統 三維奈米懸浮結構 故障分析
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:3 民95.12
- 頁次:頁21-25
- 日期：
- 20061200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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