以反應性射頻磁控濺鍍法在聚對苯二甲酸乙二醇酯基材上製備氮化鈦薄膜與特性分析
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- 資料識別：
- A10021005
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林明志 張立信
- 主題與關鍵字：
- 反應性磁控濺鍍 聚對苯二甲酸乙二醇酯基材 氮化鈦薄膜 透水率 透氧率 Titanium nitride RF reactive radio frequency magnetron sputtering PET Water vapor rate Oxygen transmission rate
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:3 民95.12
- 頁次:頁4-11
- 日期：
- 20061200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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