創新性無電鍍沉積超薄鈷基阻障層在銅金屬化之應用
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- 資料識別：
- A10020878
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳松德 唐英森 李健志 陳錦山
- 主題與關鍵字：
- 無電鍍晶種 阻障層 銅金屬化 Co-B Co-W-B
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:2 民95.11
- 頁次:頁147-152
- 日期：
- 20061100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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