高密度電漿化學氣相沉積法成長含氧氮化矽作為氫離子感應膜之研究
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- 資料識別：
- A10020876
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳伯宜 林嘉柏 陳建瑞
- 主題與關鍵字：
- 感測靈敏度 HDPCVD SiOxCy EIS
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:2 民95.11
- 頁次:頁134-139
- 日期：
- 20061100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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