濺鍍製程參數與退火溫度對摻鈧氧化鋅薄膜性質之影響
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- 資料識別：
- A10020873
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蕭銘華 黃妤家 江政忠 蘇健穎 盧志榮
- 主題與關鍵字：
- 射頻磁控濺鍍 氧化鋅摻鈧薄膜 退火
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:2 民95.11
- 頁次:頁123-128
- 日期：
- 20061100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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