氧化銦鋅(IZO)非晶質薄膜擴散阻礙特性與銅製程整合
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- 資料識別：
- A10020839
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 方昭訓(Fang， J. S.) 陳慧津(Chen， H. C.) 柯銘禮(Ker， M. L.)
- 主題與關鍵字：
- 銅製程 氧化銦鋅 非晶質 擴散阻礙層
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:2 民95.11
- 頁次:頁36-39
- 日期：
- 20061100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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