自我鈍化型銅銦合金薄膜之固溶特性及電性之研究
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- 資料識別：
- A10020836
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 方昭訓 謝馨儀
- 主題與關鍵字：
- 磁控濺鍍 低電阻率 自我鈍化 銅銦合金薄膜 氧化銦
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:2 民95.11
- 頁次:頁24-28
- 日期：
- 20061100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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