五項真空學理實驗系統之建立與測試
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- 資料識別：
- A10020804
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張愼周 王煥騰 潘奕甫 陳膺中 陳奕光 黃廷暐
- 主題與關鍵字：
- 真空系統 半導體工業 壓力
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:19:1 民95.10
- 頁次:頁71-76
- 日期：
- 20061000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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