新鍍膜技術--高功率脈衝磁控濺射之介紹及研發
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- 資料識別：
- A10020660
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳錦裕(Wu， Jin-yu) 梁文龍(Liung， Wen-lung) 艾啟峰(Ai， Chi-fong)
- 主題與關鍵字：
- 高功率脈衝磁控濺射 高功率脈衝電源 電漿鍍膜 附著力 HIPIMS High power impulse power supply Plasma coating Adhesion
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:22:4 2009.12[民98.12]
- 頁次:頁24-33
- 日期：
- 20091200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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